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惠州半导体超纯水,也被称为半导体级超纯水,是在半导体制造工艺中使用的一种极高纯度的水。半导体制造过程对水质的要求非常严格,因为微小的杂质或离子都可能对芯片的质量和性能产生不良影响。半导体超纯水用于洗涤、清洁、刻蚀、腐蚀、溶剂制备等多个工艺步骤。
半导体超纯水通常具有以下特点:
极低的离子浓度:半导体超纯水的电导率非常低,通常在微西门子/厘米(μS/cm)以下,几乎没有离子存在。
微生物控制:半导体超纯水需要经过特殊处理以消除微生物,因为微生物会引入有机物和细菌,对制造过程造成影响。
无机和有机物控制:半导体超纯水需要去除残留的无机和有机物质,以防止它们在半导体制造中的反应或污染。
粒子控制:半导体超纯水需要控制微小颗粒的存在,因为颗粒可能附着在芯片表面或在制造过程中造成不良。
TOC(Total Organic Carbon)控制:TOC是有机碳的总量,需要在半导体超纯水中控制在极低水平,以减少有机物的污染。
pH值和电导率控制:半导体超纯水的pH值和电导率需要在特定范围内控制,以确保水质稳定。
特殊处理工艺:半导体超纯水的制备过程通常包括多重的去离子、反渗透、电离交换、电去离子等工艺步骤,以确保水质达到所需的高纯度。
半导体超纯水的制备是一个复杂的过程,需要使用高度先进的水处理技术。因为半导体制造工艺对水质的要求非常严格,所以半导体超纯水的制备和质量控制都需要严格遵循相关的标准和规范。
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